適用范圍

?適用于半導體材料、?集成電路、?MEMS、?LED芯片、?功率器件等領域。

清洗能力

6inch； 1cassette/Batch  25Pcs/cassette

產品優勢

1) 操作便捷性：?半自動RCA清洗機提供了手動和半自動的操作方式，?這種設計使得設備的操作更加簡單易行。?用戶可以通過簡單的操作步驟完成清洗任務，?無需復雜的設置和調整，?從而節省了操作時間，?提高了工作效率。?

2) 成本效益：?相比于全自動設備，?半自動RCA清洗機的成本更低。?它不需要高度自動化的控制系統，?因此在購買和維護方面的成本相對較低。?此外，?半自動設備通常更適合小規模生產或特定應用場景，?能夠在保證清洗效果的同時，?降低運營成本。?

3) 適用性：?半自動RCA清洗機適用于多種應用領域，?包括半導體材料、?集成電路、?MEMS、?LED芯片、?功率器件等。?其適用的清洗工藝包括SC-1、?SC-2、?SPM、?BOE、?超聲(兆聲)清洗、?QDR等，?能夠滿足不同材料的清洗需求。?這種設備的廣泛應用證明了其強大的適用性和靈活性.

      產品特點

1) 機臺電氣部分具備正壓N2保護，防止腐蝕；

2) 機臺排風口處安裝排風壓力監測裝置（帶信號報警裝置）；

3) 機臺總進口處（N2或CDA）安裝有壓力監測裝置（帶信號報警裝置）；

4) 工藝記錄儲存：完成生產工藝中參數及工藝步驟等詳細記錄存儲，便于采購方對生產產品品質管控；程序運行記錄可定時存儲，存儲數據類型參考如下：程序號、操作者、槽體溫度、設定時間、運行時間、報警信息等（待定）。PLC或觸摸屏具有USB接口，可讀出程序運行記錄；具備可寫功能；

5) 定制機械臂配有拋動功能，位置及頻率可調；

6) 整機采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護；氣體過低警報：CDA氣源有sensor壓力過低警報，多段式N2 Level sensor也有警報；Exhaust設有壓差表及I0警報，當抽氣量不足時便Alarm;Alarm值可調整設定；DIW過低警報；

7) 機械手臂單獨急停、暫停開關、系統急停開關和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全；

8) 工藝槽工作區域與機臺控制外配有安全防護裝置，防止搬運機械手對操作人員的意外損傷；

9) 溢流工藝的應用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；

10) 工藝柔性化設計，工藝更改方便迅速；多工藝數據庫，可供用戶使用和存儲；

11) 整機在使用、運行過程中平穩、可靠、不產塵、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理；

12) 整機采用PLC控制，顯示屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護及超（兆）聲低液位保護；

13) 整機采用全封閉設計。設備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便；

14) 整機耐酸堿溶液及揮發氣體的腐蝕，電氣元件正常安全使用；

15) 機臺設有緊急停止回路（EMO急停按鈕），并按照標準設置接地保護斷路器；

16) 整機前后區隔離，底板傾斜設計，便于排液，最低處設有漏液報警，前后區域均設水槍，確保漏液及時沖洗；

17) 清洗槽體及管路配有明顯標識或防錯設計，防止溶劑混用；

18) 設計合理化的排風管路，使酸堿液揮發氣體的污染最小化；

19) 設備內部輸水、輸氣管道管線布置于主體設備內部；

20) 工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實現，至少需要三面溢流；

21) 設備后方、左右兩側需留有方便維護、維修的窗口；

22) 槽體具有換液提示功能，換液工藝參數可設定，可按照批次（by lot）也可按照時間（by time）進行換液提示，換液方式手動；

23) 設備各槽體包含robot需要能單獨切至手動模式，設備報警記錄禁止刪除，報警記錄有發生事件和報警消除時間信息包含，月日時分秒；

24) Exhaust系統:槽體后方（酸堿排氣分開配置）

安裝及售后

i. 委派具有豐富的調試經驗、業務精湛的技術人員在用戶工廠現場安裝、調試設備。

ii. 為用戶工廠操作工提供培訓，培訓包括正常操作、維修保養、操作問題的分析和緊急處理程序。

iii. 無償提供為期一年的技術支持與服務，一年后繼續提供終身技術服務。在質保期內，提供7*24小時內電話支持服務，24小時到現場反應時間。保修期外保證在接到客戶請求維修服務后24小時內到達現場。

iv. 可提供隨機備件、易損品及隨機工具。